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更新時間:2025-03-13
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產品介紹
透射光柵是一種衍射光柵,旨在根據波長以特定角度衍射通過它們的光。與反射光柵相比,它們的對準靈敏度較低,因此在環境的微小變化下使其更加堅固。
此外,與傳統的反射光柵相比,透射式光柵在吞吐量方面具有顯著優勢,并且由于我們能夠使用熔融石英基板,我們能夠實現深紫外靈敏度。
半導體式掩模對準器在光刻廠處理高達8英寸的晶片。
特征
采用熔融石英基底的紫外線敏感型
與反射光柵相比,吞吐量高
可定制 OEM 解決方案
可重復 — 低單位間變異
環境穩定且堅固的設計
使能技術
透射式光柵規格
VIS-NIR
SWIR
波長范圍 (mm) | 線密度 (LPMM) | 入射角 (AOI) | |
UV | 200-400 | 2500 | 15.5 |
UV-VIS | 200-800 | 1250 | 29.9 |
VIS | 362-785 | 1250 | 15.5 |
NIR | 400-1100 | 909 | 16.1 |
SWIR | 900-1700 | 571.4 | 17.8 |
波長范圍 (mm) | 線密度 (LPMM) | 入射角 (AOI) | |
1030/1064 | 1000-1100 | 1250 | 39 |
波長范圍 (mm) | 線密度 (LPMM) | 入射角 (AOI) | |
840 CWL | 800-880 | 1250/1190 | 30 |
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