用戶手冊 數(shù)據(jù)表

維薩拉Vaisala PR-33-S 半導(dǎo)體折射儀適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測量。該折光儀外形緊湊，流通池采用改良純 PTFE 制成，適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測量。可通過 ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或擴口 Flare 連接。維薩拉 K-PATENTS® 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于晶圓潔凈室里的化學(xué)品濃度監(jiān)測，通常被安裝在混合、清洗、蝕刻和 (CMP) 等機臺上。PR-33-S 包含一個純改性 PTFE 流通池主體和一根以太網(wǎng)線，不同標準的以太網(wǎng)供電 (PoE) 開關(guān)均可通過以太網(wǎng)線向傳感器供電，并將數(shù)據(jù)傳輸給計算機。PR-33-S 實時監(jiān)測化學(xué)品濃度，當(dāng)化學(xué)品濃度超出規(guī)定范圍時，立即通過以太網(wǎng)反饋報警。例如，可通過配置低濃度和高濃度警報來控制和延長溶液使用壽命。這里的濃度通過對溶液折射率 nD 和溫度測量來確定。PR-33-S 直接通過喇叭形或pillar配件進行安裝。PR-33-S 結(jié)構(gòu)緊湊，不含金屬，體積小。

N.I.S.T. 標準下的可追溯校準及驗證，采用標準折射率液體和驗證程序進行驗證

光學(xué)核心設(shè)計

通過以太網(wǎng)進行數(shù)據(jù)記錄和遠程界面操作

標準 UDP/IP 通信

過程溫度范圍：-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)

內(nèi)置 Pt1000 快速溫度測量及自動溫度補償

主要優(yōu)點：

全數(shù)字化設(shè)備：維薩拉 K?PATENTS® 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于過程監(jiān)控，可提供連續(xù)的以太網(wǎng)輸出信號，設(shè)計緊湊，可直接串接在過程管路上。

滿量程下保持精確穩(wěn)定測量：折光率測量范圍 nD 1.3200–1.5300，相當(dāng)于 0-100%（重量百分比）。對于高濃度 HF，可選范圍為 nD 1.2600–1.4700。標稱準確度為 R.I.+ 0.0002，通常相當(dāng)于 0.1%（按重量百分比計），例如，鹽酸濃度。測量不受顆粒、氣泡、紊流及 PPM 濃度級別微量雜質(zhì)影響。

易于維護：光學(xué)核心設(shè)計、無漂移、無需重新校準、無需進行機械調(diào)節(jié)。