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更新時間:2025-03-13
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產品介紹
響應式氣體流量控制,抑制壓力波動
性能良好的質量流量控制器只需將流量保持在您的設定值。艾里卡特MC系列氣體質量流量控制器可快速達到新的設定值,并保持該設定值,即使在壓力突然增加的情況下,亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節功能,確保相關產品能快速實現穩定控制。
多功能。監控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
耐用。MC系列氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性,我們可為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。
性能
可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,參見零件編號標簽)
可調比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
標準精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數+0.2%滿量程)
高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數+0.2%滿量程)
可重復性:0.2%滿量程
標準質量流量控制器響應時間常數:50-100ms(若有PID調節功能,可縮短至25ms)
無需預熱時間
工作條件
兼容氣體:98(MC系列)或130(MCS系列)種預置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度:-10°C至+60°C
最大內部壓力(靜態):145 psig(160 psia)
耐受壓力:175 psig(190 psia)
MC-0.5
MC-1
MC-5
MC-10
MC-20
MC-50
MC-100
MC-200
MC-500
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